Adv. Mater.：苏州大学-光学设备的柔性纳米加工

【引言】

近几年，人们对可伸缩式的光电设备产生了浓厚的兴趣，因为其可以在下一代平板显示器、光源、传感器以及可再生电源中有着广泛的应用。尤其是有机光电器件中的有机发光二极管和有机光电管引领着智能电子技术的发展。对于可伸缩式的光电设备而言，最大的挑战在于用高质量的透明导电并且具有优异的弯曲性和精密卷绕可加工性电极替换掉传统的铟锡氧化物电极。在可伸缩基板上连续并且可伸缩的奈米图案成形吸引了科研界以及商业广大的兴趣，但是却难以对其应用传统的光刻法工艺。

【成果简介】

近日，由苏州大学陈林森教授、唐建新教授（共同通讯作者）带领的科研团队在纳米加工领域取得了进步，使用光电设备控制易伸缩材料，该项发现为光控制光学器件以及有机和无机发光二极管提供了一个更加优越的解决方案。作为限制了频谱和角响应的周期性光子结构的替代结构—准随机结构代表了一个更为经济以及简单的解决方案，该方案结合了放射光和入射光的宽角度入射的方式。

【图文导读】

图1：各种各样的微米/纳米结构在分辨率、成本以及生产量上的总结

（a）设备成本与其相应的分辨率； （b）生产量与其对应的分辨率。

图2：点阵全息数字记录系统

（a）点阵全息系统示意图；

（b-g）点矩阵系统制作的像素化纳米模式的扫描电子显微镜图片

图3：基于粒子光刻技术的纳米模板扫描电子显微镜图片

（a）氢酸盐类抗蚀剂最小尺寸；

（b）5纳米半场嵌套L形氢酸盐类抗蚀剂；

（c）50纳米点阵。

图4：体驱动纳米压印以及印记示意图

（a）体驱动纳米压印 （b-c）热印记和UV印记示意图。

图5：静电力辅助纳米压印

（a）静电力辅助纳米压印；

（b）静电力辅助纳米压印示意图；

（c）静电力辅助纳米压印的纳米模板。

文献链接：Toward Scalable Flexible Nanomanufacturing for Photonic Structures and Devices（Adv. Mater.，2016， DOI: 10.1002/adma.201601801）

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