清华大学ACS Nano:实现CVD过渡金属硫化物薄膜无损转移和堆叠的水溶性聚合物媒介
化学气相沉积(CVD)方法制备出的二维过渡金属硫化物(TMDCs)的转移方法有两类,一类是化学刻蚀媒介法,该方法操作简单,但刻蚀会严重退化样品的品质,使得其迁移率显著降低;另一类是物理转移媒介法,该方法不需要刻蚀,但是生长过程的高温环境使得衬底和样品接触更强,阻碍了该方法的推广应用。因此,寻找一种无损转移的方法对于TMDCs材料的应用发展是非常重要的。
近日,清华大学化学系焦丽颖等人设计了一种水溶性转移媒介,该媒介有PVP和PVA两种聚合物组成,可以实现CVD TMDCs材料的无损转移和堆叠。该方法可以用于多种衬底的转移,并且可以批量重复转移,保证样品的固有性质不被退化。通过实验验证,该方法同样适用于其他CVD 生长的二维材料的转移和堆叠,并且可以保证材料的原有质量,对于基础研究和实际应用都具有很高价值的适用性。
【转移原理简介】
这种媒介由PVP和PVA两种聚合物组成,上层的PVP薄膜因其较强的粘附力和良好的润湿能力,作为粘附层,确保和二维TMDCs材料有合适的接触。为了增强底层的润湿能力,作者又增加了一个NVP单体,其表面能和二维TMDCs材料在PVP溶液中的表面能接近。同时,PVA薄膜作为支持层,固定PVP的形状。这两种聚合物的结合保证了媒介-样品的强接触和媒介有效的强度,二者对将CVD TMDCs材料从生长衬底上剥离是至关重要的。由于,这两种聚合物均为水溶性的,转移过程简单可重复,并且对样品原有性质没有影响。
【图文解析】
图1CVD生长的MoS2的转移:(a)利用水溶性双层聚合物转移CVD MoS2的流程示意图;(b,c)CVD MoS2样品转移前后的光学显微成像和AFM成像(插图),插图比例尺:2μm;(d)转移到多孔碳网格上的MoS2薄片的TEM成像,插图为该样品的高分辨TEM成像,比例尺为:2μm;(e,f)d图位置1和位置2的选择区域电子衍射(SAED)图像。
图2转移后的单层MoS2的表征:(a,b)CVD MoS2转移前后的拉曼映射成像;(c,d)MoS2转移前后的典型拉曼光谱和光致发光(PL)光谱;(e)真空环境下,由PVP+PVA媒介转移的MoS2薄片制备的FET的输运曲线,从下至上,偏压分别为1,10,100,500和1000mV,插图为器件的光学图像;(f)分别由PVP+PVA媒介转移(红色方块)和由PMMA媒介转移(蓝色方块)的MoS2-FET的迁移率和开关比的比较,从图中,很明显地看出,由PVP+PVA媒介转移的MoS2的迁移率大于由PMMA媒介转移的MoS2的样品,说明PVP+PVA媒介在转移过程对MoS2的原有质量影响很小。
图3在不同衬底上的不同CVD生长的二维材料的转移:(a,b)CVD生长的1L MoxWyS2样品转移前后的光学成像;(c,d)CVD生长的MoS2/WS2异质结转移前后的光学成像;(e,f)CVD生长的MoS2薄片在Au/Si衬底和PMMA薄膜上的转移。
【总结】
焦丽颖等人设计的由两种聚合物组成的双层水溶性媒介,可以实现CVD生长的二维TMDCs材料的无损转移和堆叠。媒介-样品的强接触和媒介的水溶性能够使CVD生长的二维TMDCs材料比较容易和简洁地实现物理转移。这项工作推动了二维TMDCs材料在光电和电子领域的应用发展。
【备注】
该研究成果近期发表在ACS Nano (IF:12.881) 上,文献链接:Universal Transfer and Stacking of Chemical Vapor Deposition Grown Two-Dimensional Atomic Layers with Water-Soluble Polymer Mediator(DOI: 10.1021/acsnano.6b00961)
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